साधारणतः बोलातांनी

सर्वसाधारणपणे, अर्धसंवाहक उपकरणांच्या विकास, उत्पादन आणि वापरामध्ये कमी प्रमाणात अपयश टाळणे कठीण आहे.उत्पादनाच्या गुणवत्तेच्या आवश्यकतांच्या सतत सुधारणांसह, अपयशाचे विश्लेषण अधिकाधिक महत्त्वाचे होत आहे.विशिष्ट अपयशी चिप्सचे विश्लेषण करून, ते सर्किट डिझाइनर्सना डिव्हाइस डिझाइनमधील दोष शोधण्यात मदत करू शकते, प्रक्रिया पॅरामीटर्सची जुळत नाही, परिधीय सर्किटची अवास्तव रचना किंवा समस्येमुळे होणारे चुकीचे ऑपरेशन.सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या अयशस्वी विश्लेषणाची आवश्यकता प्रामुख्याने खालील पैलूंमध्ये प्रकट होते:

(1) अयशस्वी विश्लेषण हे डिव्हाइस चिपची अपयश यंत्रणा निर्धारित करण्यासाठी आवश्यक साधन आहे;

(२) अयशस्वी विश्लेषण प्रभावी दोष निदानासाठी आवश्यक आधार आणि माहिती प्रदान करते;

(३) अयशस्वी विश्लेषण डिझाईन अभियंत्यांना चिप डिझाइनमध्ये सतत सुधारणा करण्यासाठी किंवा दुरुस्त करण्यासाठी आणि डिझाइन तपशीलानुसार ते अधिक वाजवी करण्यासाठी आवश्यक अभिप्राय माहिती प्रदान करते;

(4) अयशस्वी विश्लेषण उत्पादन चाचणीसाठी आवश्यक परिशिष्ट प्रदान करू शकते आणि सत्यापन चाचणी प्रक्रियेच्या अनुकूलतेसाठी आवश्यक माहिती आधार प्रदान करू शकते.

सेमीकंडक्टर डायोड्स, ऑडिओन्स किंवा इंटिग्रेटेड सर्किट्सच्या अयशस्वी विश्लेषणासाठी, इलेक्ट्रिकल पॅरामीटर्सची प्रथम चाचणी केली पाहिजे आणि ऑप्टिकल मायक्रोस्कोप अंतर्गत देखावा तपासणी केल्यानंतर, पॅकेजिंग काढून टाकले पाहिजे.चिप फंक्शनची अखंडता राखत असताना, अंतर्गत आणि बाह्य लीड्स, बाँडिंग पॉइंट्स आणि चिपची पृष्ठभाग शक्य तितक्या दूर ठेवली पाहिजे, जेणेकरून विश्लेषणाच्या पुढील चरणासाठी तयारी करता येईल.

हे विश्लेषण करण्यासाठी स्कॅनिंग इलेक्ट्रॉन मायक्रोस्कोपी आणि एनर्जी स्पेक्ट्रम वापरणे: मायक्रोस्कोपिक मॉर्फोलॉजीचे निरीक्षण, अपयश बिंदू शोध, दोष बिंदू निरीक्षण आणि स्थान, डिव्हाइसच्या सूक्ष्म भूमितीच्या आकाराचे अचूक मापन आणि खडबडीत पृष्ठभाग संभाव्य वितरण आणि डिजिटल गेटचे तर्कशास्त्र सर्किट (व्होल्टेज कॉन्ट्रास्ट इमेज पद्धतीसह);हे विश्लेषण करण्यासाठी एनर्जी स्पेक्ट्रोमीटर किंवा स्पेक्ट्रोमीटर वापरा: सूक्ष्म घटक रचना विश्लेषण, सामग्री संरचना किंवा प्रदूषक विश्लेषण.

01. सेमीकंडक्टर उपकरणांचे पृष्ठभाग दोष आणि बर्न

आकृती 1 मध्ये दर्शविल्याप्रमाणे, पृष्ठभागावरील दोष आणि अर्धसंवाहक उपकरणांचे बर्न-आउट हे दोन्ही सामान्य अपयश मोड आहेत, जे एकात्मिक सर्किटच्या शुद्ध केलेल्या स्तराचे दोष आहे.